P-611.3 納米立方體XYZ納米定位器

用于納米定位和光纖對準的緊湊型多軸壓電定位器

PI納米定位器P-611.3O特點

行程可達 120 μm × 120 μm × 120 μm

超緊湊：44 mm × 44 mm × 44 mm

分辨率高達 0.2 nm

快速響應(yīng)

無間隙和高精度固態(tài)導軌

通過PICMA®壓電陶瓷促動器實現(xiàn)超長的使用壽命

用于快速掃描

帶集成光纖支架的版本

特別具有成本效益的系統(tǒng)

PI納米定位器P-611.3O應(yīng)用

光子學/集成光學

顯微操作

生物工藝學

半導體測試

光纖定位

PI PICMA 壓電陶瓷促動器具有出色的使用壽命

PI PICMA壓電陶瓷促動器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA促動器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動器的十倍。已經(jīng)證明了 100 億次循環(huán)，沒有一次故障。

PI P-611.3O技術(shù)參數(shù)

X級行程，非穩(wěn)壓，-20至120 V  120 微米

行程范圍為 Y，無穩(wěn)壓，-20 至 120 V  120 微米

Z 軸行程范圍，非穩(wěn)壓，-20 至 120 V   120 微米

X 分辨率，不受管制0.2海里

Y分辨率，不受管制0.2海里

Z 分辨率，不受管制 0.2海里

電容量1.5 微氟

剛度0.3 牛/微米

質(zhì)量320 克

材料鋁， 鋼

溫度范圍-20 至 80 °C